XUV 反射镜可用于反射 XUV 或软 X 射线光，主要用于高次谐波产生、EUV、阿秒产生等试验。

对于 XUV 和软 X 射线 , 我们镀多层膜（multilayer coatings），其可用于选择波长。

XUV 多层膜需要在表面镀数十到数百层 0.1nm 厚的薄膜才能实现。这个对于整个工艺和设计有着非常大的要求，需要亚原子级别的镀膜控制精度。

我们可以提供 23-200eV 波段的反射镜。针对 X-ray 波段（>keV）, 我们可以提供掠入射的反射镜。

我们可以提供各种形状和尺寸的 XUV 多层镜，包括平面、曲面（可用于聚焦）、双环镜（中心反射 XUV 波段、外环反射其它波段，如 IR,NIR 光）、平面中心开孔等等。