越来越多的应用需要有长焦深的加工需求,如玻璃切割,蓝宝石晶圆切割,等。 将高斯光束转换为贝塞尔光束可以极大的加大焦深,做到很高的深径比(焦深和 聚焦直径比值)。 目前市场上最常见是通过透射式棱锥转换贝塞尔光。但是透射式棱锥受制于生产 工艺,不能将顶角尖度做的无限小,所以产生的贝塞尔光会有能量不均匀,热影 响区大的问题。且批次与批次之间,透射式棱锥的质量也是参差不齐。 我司提供的反射式棱锥避免了透射式棱锥的问题,采用离轴干涉原理,产生的贝 塞尔光更接近理论曲线,热影响区更小,见图。同时基于反射式光路设计,抗损 伤阈值高,没有热透镜效应导致的焦点漂移问题。如果激光脉冲是飞秒脉冲,也 不会有色散导致的脉宽展宽。 所有角度均提供 350-1100nm 内任意波长或波段高反射率镀膜。
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