XUV反射镜可用于反射XUV或软X射线光，主要用于高次谐波产生、EUV、阿秒产生等试验。其可用于选择波长。
XUV反射镜需要在表面镀多达上万层0.1nm厚的薄膜才能实现。这个对于整个工艺和设计有着非常大的要求，需要原子级别的镀膜控制精度。
我们可以提供23-200ev波段的反射镜。针对X-ray波段（>kev）,我们可以提供掠入射的反射镜。
我们可以提供各种形状和尺寸的XUV多层镜，包括平面、曲面（可用于聚焦）、双环镜（中心反射XUV波段、外环反射其它波段，如IR,NIR光）、平面中心开孔等等。